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產(chǎn)品類目

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博曼Bowman鍍層超大PCB/晶圓測量XRF測厚儀A系

產(chǎn)品型號： A系列

產(chǎn)品品牌：Bowman美國博曼

產(chǎn)品介紹：

美國博曼（Bowman）是高精度臺式鍍層測厚儀供應(yīng)商，擁有近40年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。博曼XRF系統(tǒng)搭載擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的鍍層檢測技術(shù)和先進(jìn)的軟件系統(tǒng)，可精準(zhǔn)高效地分析金屬鍍件中元素厚度和成分。XRF系統(tǒng)可同時測量包含基材在內(nèi)的五層元素，其中任何兩層元素可以是合金。同時，博曼XRF系統(tǒng)也可以測量高熵合金HEAs博曼XRF鍍層測量系統(tǒng)滿足業(yè)界對精度，可靠性和易用性的嚴(yán)格要求。

詳細(xì)介紹

A 系列微型 XRF 專為**測量半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域中*小的 X 射線特征而設(shè)計。它可容納非常大的 PCB 面板或任何尺寸的晶圓，以實(shí)現(xiàn)完整的樣品覆蓋和多點(diǎn)可編程自動化。

Bowman 的 A 系列使用多毛細(xì)管光學(xué)器件將 X 射線束聚焦到 7.5 μm FWHM，這是使用 XRF 儀器進(jìn)行涂層厚度分析的世界上*小的。 140X 放大相機(jī)用于測量該比例的特征；它配有一個輔助低放大倍率相機(jī)，用于實(shí)時查看樣品和鳥瞰宏觀視圖成像。 Bowman 的雙攝像頭系統(tǒng)讓操作員可以看到整個零件，單擊圖像以使用高倍率攝像頭進(jìn)行縮放，并**定位要編程和測量的特征。

可編程 XY 平臺在每個方向上移動 23.6 英寸（600 毫米），可以處理
業(yè)內(nèi)*大的樣本。該平臺的每個軸的精度小于 +/- 1 μm，并且是
用于選擇和測量多個點(diǎn)； Bowman 模式識別軟件和自動對焦
功能也會自動執(zhí)行此操作。該系統(tǒng)的內(nèi)置模式識別可用于查看零件（例如硅晶片）上涂層的形貌。

產(chǎn)品規(guī)格

元素測量范圍：	13號鋁元素到 92號鈾元素
X射線管：	50 W Mo 目標(biāo) Flex-Beam 毛細(xì)管光學(xué)器件 @7.5 FWHM 在 17 KeV 可選：Cr 或 W
探測器：	優(yōu)于135eV分辨率的大窗口硅漂移探測器
分析層數(shù) 及元素數(shù)：	5 層（4 層 + 基礎(chǔ)），每層 10 個元素。同時分析多達(dá) 25 種元素的成分
濾波器/準(zhǔn)直器：	4位置一次濾波器
輸出焦深：	固定為0.08英寸（2.03毫米）
數(shù)字脈沖處理：	具有靈活整形時間的 4096 CH 數(shù)字多通道分析儀。自動信號處理，包括死區(qū)時間校正和逃逸峰校正
計算機(jī)：	Intel，CORE i5 第 9 代處理器 (4.1 GHz)，16GB RAM，Microsoft Windows 10 Prof，64 位
相機(jī)：	1 / 4"CMOS-1280×720 VGA分辨率
視頻放大倍率：	140X Micro & 7X Digital Zoom: 9X Macro & Table View
電源：	720W，100?240V; 頻率范圍為47Hz到63Hz
重量：	1000kg（2200磅）
工作環(huán)境：	溫度介于68°F（20°C）與77°F（25°C）之間，相對濕度小于98％，無冷凝
可編程XYZ平臺：	XYZ行程：600毫米（23.6英寸）x 600毫米（23.6英寸）x 100毫米（3.9英寸） XY桌面：560mm（22“）x 585mm（23”） X & Y 軸精度：1um (40u”) Z軸精度：1um (40u”)
樣品倉尺寸：	高度：100mm（4"），寬度：1400mm（55"），深度：1470mm（58"）
外形尺寸：	高度：1780mm（70"），寬度：1470mm（58"），深度：1575mm（62"）
其他新特征：	Z 保護(hù)陣列、自動對焦、聚焦激光、圖案識別、Semi S2 S8 兼容就緒

X射線管	G系列	B系列	P系列	L系列	K系列	O系列	M系列	W系列	一系列的
陽極靶材	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠
X射線照射方式	由下往上	由上往下	由上往下	由上往下	由上往下	由上往下	由上往下	由上往下	由上往下
探測器
SDD硅漂移探測器	普通	普通	普通	普通	普通	普通	無	無	無
大窗口硅漂移探測器	可選	可選	可選	可選	可選	可選	普通	普通	普通
光斑尺寸
單個準(zhǔn)直器	普通	普通	無	無	無	無	無	無	無
多個準(zhǔn)直器	無	可選	普通	普通	普通	無	無	無	無
毛細(xì)管光學(xué)結(jié)構(gòu)	無	無	無	可選	即將推出！	80um	15um	7.5um	7.5um
焦距
聚焦激光/自動聚焦	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通
單個固定焦距	普通	普通	無	無	無	普通	普通	普通	普通
可變焦距	無	可選	普通	普通	普通	無	無	無	無
視頻放大倍率
30X 微型	普通	普通	普通	普通	普通	無	無	無	無
55X 微型	可選	可選	可選	可選	可選	普通	無	無	無
140X 微型	無	無	無	無	無	無	普通	普通	普通
7倍數(shù)碼變焦	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通
9X 微距	無	無	無	無	無	無	普通	普通	普通
表格檢視	無	無	無	可選	可選	無	普通	普通	普通
平臺&外形尺寸
Z軸控制方式	自動表	自動表	自動表	自動表	自動表	自動表	自動表	可編程	可編程
Z軸行程	1"	5.2"	5.2"	10"	9"	5.2"	5.2"	3.9"	3.9"
基值	無	固定	可編程	可編程	可編程	可編程	可編程	可編程	可編程
標(biāo)準(zhǔn)XY行程	無	無	5 × 6"	10 × 10"	12 × 12"	5 × 6"	6.5 × 6.5"	12 × 16"	23 × 23"
可選XY行程	1.5 × 1.5"	無	10 × 10"	無	無	10 × 10"	無	無	無
可選的Max XY Travel	無	無	16 × 16"	無	無	16 × 16"	16 × 16"	無	無
平臺精度	無	無	0.0004"	0.0004"	0.0002"	0.0004"	0.0001"	40u”	40u”
樣品倉尺寸（高寬深）	4x13x12“	5.5x12x13“	5.5x12x13“	11x22x24“	24x24x9“	5.5x12x13“	5.4x12x13“	4x29x36“	4x55x58“
總重量
	25kg	34kg	52-70kg	110kg	120kg	52-70kg	70kg	190kg	1000kg

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