可選功能

它提供四種升級包（或單元）以滿足您的需求，并包括其他直流電源所沒有的獨特高性能功能。 這是一項新功能，可以解決客戶以前無法解決的工藝問題，并提高膜性能。

1.高性能RAMP
通過在放電前控制輸出（點火操作）來抑制放電開始時輸出突然變化的功能，并在放電后立即獲得穩(wěn)定狀態(tài)的功能

傳統(tǒng)上，直流電源的RAMP功能一般是放電后的輸出控制。 因此，我們專注于放電前的輸出控制。
通常，輸出是在放電后控制的，因此可能無法獲得穩(wěn)定的放電狀態(tài)。 通過這項新功能，通過在放電前控制輸出（點火操作），可以抑制放電開始時的瞬時高功率并實現放電穩(wěn)定。

2.控制精度
高 這是一項實現高精度輸出到設定值和**連續(xù)重復性的功能。

對于標準機器，設定輸出的保證值范圍在10~100%范圍內，小于10%為非保修范圍，但對于添加此封裝的設備，保證值從1%開始保證。 此外，即使在上千次或幾萬次的重復過程中，輸出的變化也很小，可以保持高再現性。

輸出重復性（σ：0.74W）

3. 高速電弧處理：
全新電弧控制功能，****的電弧截止時間為5μs

當直流電源檢測到異常放電時，它會暫時關閉輸出，但如果中斷時間過長，則可能無法恢復放電。
這種封裝功能可以*大限度地減少截止時間，便于放電維護，并穩(wěn)定過程。 此外，較短的截止時間可以預期縮短清洗沉積材料的預濺射時間。

4.性能優(yōu)越的ARC處理 直流
電源在檢測到異常放電后自行判斷異常放電水平并執(zhí)行*佳關機的功能

使用典型的直流電源時，只能設置一種關斷模式。 但是，封鎖往往不適合當時的情況，后續(xù)的沉積工藝效率可能會降低，或者可能會立即再次發(fā)生異常放電，并可能重復封鎖。 這項新功能有望通過確定直流電源本身對異常放電的*佳攔截來降低異常放電的復發(fā)概率，并提高沉積過程的效率。
這些功能可以單獨添加到單個直流電源中，也可以添加到可以添加到任意數量的封裝中。 以后也可以將其添加到已在使用的隨附電源中。

自動確定ARC截止時間