“G-TRAN系列多離子真空計”是可連接不同測量范圍的測量裝置的新型傳感器式真空計系列。 本產(chǎn)品是B-A型電離真空計，能夠測量超高真空。 在繼承傳統(tǒng)壓力測量理念和低運行成本的同時，經(jīng)過改進，更加人性化。

長處

• 可以連接具有不同測量范圍的傳感器：多離子計允許根據(jù)應(yīng)用選擇測量元件
• 緊湊：比傳統(tǒng)產(chǎn)品小得多（控制器體積減少 56%），是世界上*小的產(chǎn)品
• 可用性改進：可通過PC/智能手機連接進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)檢查等設(shè)置。
• 產(chǎn)品陣容的充實：除了模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）
• 燈絲壽命通知功能：燈絲功率監(jiān)控可提前通知燈絲壽命
• 壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空 （1×10⁺⁵~5×10^-8Pa）（當連接到可選單元 SWU10-R 時）
• **的大氣壓力測量：可以檢查腔室打開的大氣壓力（當連接到可選單元 SAU 時）

用

• 用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的高真空范圍的過程控制
• 用于檢查具有許多工藝室的各種制造設(shè)備（例如直插式和單晶圓型）在高真空范圍內(nèi)的極限壓力
• 用于高真空和超高真空設(shè)備的壓力測量

規(guī)范

型		SH200-A型	SH200-R型	SH200-E（即將發(fā)布）
規(guī)范		標準規(guī)格	串行通信規(guī)范	EtherCAT 規(guī)格
自適應(yīng)多離子真空計傳感器		M-44（NW16）， M-45（NW25）， M-46（ICF070）
可連接傳感器		多離子真空計傳感器：1 皮拉尼真空計 SWU10-R：1（可選） 大氣壓力傳感器 SAU：1（可選）
重復(fù)性 （N2）		SH200 獨立模式：±2%
采樣時間		60ms 5 移動平均處理
測量值輸出		輸出電壓DC 0~10V LOG輸出0.75V/個位數(shù)壓力換算公式V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25 ）/0.75+2}
更新時間		60 毫秒
控制輸入信號		采用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負邏輯 * FIL ON/OFF信號的使用方式因模式而異	-	-
控制輸出信號		傳感器誤差，設(shè)定值 1/2/3，發(fā)射有效，燈絲 功率監(jiān)控 額定值：24V MAX，50mA MAX，1V 飽和電壓	-	-
串行通信規(guī)范		-	RS232C/RS-485接口	以太網(wǎng)CAT
LED指示		POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
		SET1：設(shè)定點 1 LED SET2：設(shè)定點 2 LED SET3：設(shè)定點 3 LED	-	-
發(fā)射電流		1毫安（1×10）-3Pa以下）、10μA（1×10-3PA 或更高）
德加		電子轟擊 1 mA，330 V
傳感器耐壓		2×10+5Pa（**壓力） * 法蘭和卡箍等耐壓性必須單獨考慮。
傳感器內(nèi)部容積		17厘米3（M-44），19厘米3（M-45），17厘米3（M-46型）
工作溫度范圍		10~50°攝氏度
工作濕度范圍		15~80%（無凝露）
儲存溫度		-20~65°C （斷電時，無凝露）
IP防護等級		IP30防護等級
電源電壓		DC20~28V（紋波、噪聲1%以下），8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub 15 針（M2.6 螺絲）
質(zhì)量		控制器：約280g 測量元件（M-44、M-45）：80g、（M-46）：300g
尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm（控制器）
法規(guī)遵從性		CE認證
Op-syeong	多離子真空計傳感器	M-44 （NW16）， M-45 （NW25）， M-46 （ICF070） 材料 ： 燈絲 1,2 -Ir/Y2O3 涂層 其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐合金/鎳鍍層
	皮拉尼真空計	SWU10-R *與傳統(tǒng)SPU兼容
	皮拉尼真空計傳感器	SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18管端）， SWP-P15（Φ15管端）材質(zhì) ： 燈絲-Pt， 其他-BS/Ni， 鍍層， Ni， 焊料
	大氣壓力傳感器	SAU（NW16） 材質(zhì)：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（用于SWU）：0.5m，1m，2m GUC-200A（用于SAU）：0.5m，1m，2m
	顯示單位	1CH：ISG1（使用24V直流電源）
	顯示單元電纜	SH200 ~ 顯示單元電纜 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm 螺絲））
	其他	檢驗報告、一般校準檢驗報告、JCSS校準證書

PC/智能手機連接圖像

應(yīng)用軟件“UL-MOBI”

兼容設(shè)備