長處

• 它采用緊湊的設計，占地面積*小
  □同類產品× 874404mm。
• 機械增壓泵 （MBP） 可直接安裝 MBP 安裝套件允許在無需安裝的情況下安裝
  MBP。
• 還內置了油霧分離器和內置的采油機構
  。
• 防止漏油到外面分為兩級：結構油封和密封軸承，
  不易造成漏油到外面。
• 搭載**IE3高效多電壓電機，
  單臺電機可處理寬范圍電壓。

用

• 光學薄膜沉積系統
• 反射器沉積設備
• 裝飾氣相沉積設備
• 薄膜纏繞和沉積設備
• 在線濺射設備
• 焙燒爐/熱處理爐
• 冷凍干燥設備
• 泄漏測試設備
• 空間室

規范

型				VS300A-W型
設計抽速		50赫茲	m3 / 小時 （L/min）	250 (4,166)
		60赫茲		300 (5,000)
極限壓力*1	GP 關閉		帕	≦15
	GP開幕式			≦200
功耗（極限壓力下）		50赫茲	千瓦	2.8
		60赫茲		3.1
發動機	型			全封閉風機式三相異步電動機
	能力		kW （極）	7.5（4）
	電壓	50赫茲	V	200~240 / 380~415
		60赫茲		200~240 / 380~460
噪聲值*2（極限壓力下）		50赫茲	分貝	70
		60赫茲		74
使用的機油				超風 R-72
所需油量			L	10~15
冷卻方式				水冷式
冷卻水	進氣壓力		MPaG的	≦0.3
	入口壓差			≧0.1
	冷卻水量		L/分鐘	≧3.0
	冷卻水溫度		攝氏度	5~30
	冷卻水 Δt			≦25
吸気口フランジ				DN　63　ISO-F
排気口フランジ				G2
質量			公斤	270
尺寸 W×D×H			毫米	404×871×585
海外**標準				CE、 cTUVus

注意：本文檔使用 SI 單位制。

*1 當極限壓力（GP關閉）時，它會緩慢泄漏。 當慢速泄漏閥關閉時，≦為 8 Pa。
*2 平均聲壓級是根據ISO2151測量和計算的。