HORIBA堀場集團向各行業領域提供高品質的分析與測試儀器，49家分公司遍布全球27個國家。 

我們的業務涉及汽車測試、科學儀器、過程和環境儀器、體外診斷和半導體儀器等。我們已在全球市場展示出自己的優勢，尤其在汽車排放和煙道氣測量、空氣污染、水污染監控、不同行業的質控以及臨床診斷等領域。過去幾年來，我們取得了長足發展。讓我們感到高興和自豪的是，我們的分析和測量業務為全球的環保、**和健康事業做出貢獻，并為解決能源問題助一臂之力。我認為正是這種自豪感促使我們提供更具競爭力的產品。 

擁有自豪感和勇于挑戰的精神，以充沛的體力和激情投入到工作中去，譜寫一個更加令人滿意的人生。我們將更加快樂過好每**的愿望融入企業哲學，這一精神自企業創建以來一直代代相傳。遍布全球的大約7,000名堀場人（這樣稱呼的原因是我們把堀場集團的所有員工都看成是一家人）是我們企業發展的源泉，他們能夠正確理解“新奇、有趣”這一企業哲學，并在日常工作和生活中很好地貫徹。 

我們將一如既往地以自豪的態度和勇于迎接挑戰的精神為社會做出貢獻。 

橢圓偏振光譜儀

薄膜表征的有效技術

浙江總供HORIBA堀場在線監控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ

在線監控橢偏儀

UVISEL Plus在線監控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實時監控薄膜沉積或刻蝕過程。

UVISEL Plus在線橢偏儀結合了速度快、靈敏度高、動態范圍寬和準確等優點，使其能夠在原子層水平監控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實現。

采用新型適配器組件可以實現臺式設備和在線系統的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅動，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多先進的建模和擬合處理功能，操作界面簡單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。先進的通訊協議，TCP/IP和RS232已被設計用于生產環境和OEM。

• 高速、準確
• 完整集成了實時測量、建模和報告軟件包
• 便于在線和離線間切換

可獲得的信息

• 薄膜厚度
• 光學常數（n,k）
• 材料組成

• 光譜范圍：190-885 nm，可擴展至 190-2100 nm
• 光源：75W氙燈或150W氙燈
• 探測系統：單點或實時光譜采集使用高靈敏度，寬動態范圍的PMT探測器和掃描單色儀，原位監控薄膜沉積/蝕刻
• 光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm
• 機械適配器：CF35或KF40法蘭